基于MEMS工藝的熱式質量流量技術；

重復性、復現性、穩定性強；

氣體控制精度高，可快速響應；

大于1000:1的動態量程比；

在很大的測量范圍內，也能保持良好的線性度；

結構緊湊，幫您實現新的功能的同時減小系統尺寸和重量；

模塊化設計，為OEM客戶量身定制。

　　緊湊的質量流量控制器配有RS-485通訊接口，基于Axetris的鉑金MEMS技術(MEMS:微電子機械系統）它提供了以下的優勢。

　　·超緊湊的外形尺寸

　　·快速的穩定時間<150 ms

　　·極佳的重復性和精度

　　·堅固的設計

　　·高量程比<1000:1

　　·極佳的長期穩定性

　　它被推薦用于獨立的應用和集成在工業，分析和醫療系統上的應用。