[VIP第1年] 指數:2
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通過認證?[誠信檔案]
基于MEMS工藝的熱式質量流量技術；
重復性、復現性、穩定性強；
氣體控制精度高，可快速響應；
大于1000:1的動態量程比；
在很大的測量范圍內，也能保持良好的線性度；
結構緊湊，幫您實現新的功能的同時減小系統尺寸和重量；
模塊化設計，為OEM客戶量身定制。
這種質量流量計的量程可擴展到15,000 sccm。具有無與倫比的動態量程和超緊湊尺寸的特點。
技術優勢
·無與倫比的動態量程
·出色的可重復性
·超緊湊的尺寸
·專為OEM客戶設計
| 參數 | 單位 |
典型值 |
| 流量范圍 |
sccm |
0-15,000 |
| 外形尺寸 |
mm |
50×52×22（質量流量控制器OEM模塊） |
| 流量精度 | ±0.2 % F.S./±1 % O.R. 取較大值 |
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| Repeatability | ±0.015 % F.S./±0.15 % O.R. 取較大值 |
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| Resolution |
% F.S. |
0.1 |
| Remarks | 如您需要更為詳細的資料，敬請查閱產品相關的技術規格書 | |
