Axetris可供使用的質量流量集管標準平臺，在單個基板上安裝有多達4個質量流量控制器或者流量計。集管具有混合器或者分離器配置，從而可以根據客戶要求，校準每一個通道。該產品是混合或者分離氣體流的緊湊即用型解決方案，具有高精確度和再現性。
 

產品特性：

 

· 基于MEMS工藝的熱式質量流量技術；

· 重復性、復現性、穩定性強；

· 氣體控制精度高，可快速響應；

· 大于1000:1的動態量程比；

· 在很大的測量范圍內，也能保持良好的線性度；

· 結構緊湊，幫您實現新的功能的同時減小系統尺寸和重量；

· 模塊化設計，為OEM客戶量身定制。

Axetris擁有完整的，經驗豐富的流體動力學工程師團隊，先進的仿真模擬裝備，以及先進的測試和檢測實驗室，為客戶提供全方位解決方案、技術支持和系統整合。為OEM客戶需求量身定制特定條件應用的質量流量產品：真實氣體校準，一系列可配置選項，可選數字濾波參數，可選電氣和機械接口。

標®準產品系列：需完整產品目錄，請聯系Axetris !

 

每個Axetris MFM/MFC2000產品都提供全量程的標定和溫度補償，標定遵從NIST溯源。
 

廣泛的氣體種類和量程范圍：

MFM/MFC2000產品可以適用非常廣泛的多種非腐蝕氣體，氣體量程可以從小于20sccm到20000sccm(標準立方厘米每分鐘)。通過旁路設計，還可獲得更大的量程范圍。

 

標準型產品:

MFM 21x0: 標準型質量流量計，是MFM2020加裝電氣保護外殼的擴展產品。

標準型質量流量計，是MFM2020加裝電氣保護外殼的擴展產品。

MFM 2120: RS232/ 0…5 Volt, MFM 2130: RS232/ 4…20 mA,MFM 2140: RS485.

MFC 21x2: 標準型質量流量控制器，集成了快速反應的調節閥。相較于傳統的質量流量控制器，具有更小的體積，更高的精度，更短的整定時間，以及多量程，多種氣體的控制能力。

如下為不同型號所支持的數字/模擬接口選項：

MFC 2122: RS232/ 0…5 Volt, MFC 2132: RS 232/ 4…20 mA,

MFC 2142: RS485, MFC 2162: PROFINET®

 

用于系統集成的OEM模塊：

 

MFM 2020: 帶有數字交互界面和0-5V模擬輸出的緊湊型質量流量計。它的小巧的尺寸讓其成為受限于空間限制的產品設計的理想選擇。此外它也是用來建立定制化和多種氣體通道測量的理想模塊。

 

MFM 2021: 此先進的氣體質量流量計附帶有高精密PID控制，配備模擬信號輸出，使其對氣體流量進行直接、高速和精準得到測量成為可能。

 

MFC 2022: 帶有快速反應調節閥和具有驅動電路的緊湊型質量流量控制器。它是高度緊湊型氣體控制系統的理想選擇。