納米薄膜的熱擴散性能表征

課程描述

納米薄膜材料是芯片，LED顯示器件和微機電系統(MEMS)的重要組件。而薄膜的導熱特性影響著這些器件與系統運行的性能與可靠性。但材料到達微納米級別之后，其導熱特性與宏觀材料相比將產生較大的變化。因此，我們需要一個適用于納米薄膜材料的導熱測試方法。